七星華創(chuàng)流量計質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

七星華創(chuàng)流量計使用腐蝕性氣體問題：

流量計氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于 316L 不銹鋼)，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用氨氣的用戶應在定貨時聲明。9E、9EM 型流量計產品不能用于有機溶劑蒸汽（如丙酮等）和 BCl3、BBr3 等強腐蝕性氣體。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠，對于 9E 型質量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯；當選用四氟乙烯時，閥口容易出現漏氣，閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%；對于使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。